مولد بخار خالص تجهیزاتی است که از آب برای تزریق یا آب تصفیه شده برای تولید بخار خالص استفاده می کند. قسمت اصلی مخزن آب تصفیه کننده سطح است. مخزن آب دیونیزه شده را با بخار از دیگ گرم می کند تا بخار با خلوص بالا تولید کند. پیش گرم کن و اواپراتور مخزن از لوله فولادی ضد زنگ فشرده استفاده می کند. علاوه بر این، بخار با خلوص بالا با فشارهای برگشتی و دبی های مختلف را می توان با تنظیم دریچه خروجی به دست آورد. ژنراتور برای استریل کردن قابل استفاده است و می تواند به طور موثر از آلودگی ثانویه ناشی از فلزات سنگین، منبع گرما و سایر توده های ناخالصی جلوگیری کند.